미확인 · 물리량 미확인 · 방법 미확인 · 정확한 수치

저장된 값: 0.12 ppm

반도체 웨이퍼 가공라인에 대한 휘발성 유기화합물 노출농도 평가결과 아세톤 2.3ppm, IPA 7.3 ppm, PGME 0.12ppm, 크실렌 0.12 ppm을 제외하고는 0.1 ppm이상 검출된 물질은 없었다.

한 인용에 여러 수치가 있어 해당 값과 방법의 연결을 전문가가 확인해야 합니다.

자료 확인 사항: 상한·근삿값 표현 확인 필요, 생성 방식 확인 필요, 물리량 확인 필요

분류는 노출의 건강영향이나 업무관련성 확정을 의미하지 않습니다. 근거 작성·추정 주체가 원문에 없으면 임의로 전문가라고 기록하지 않습니다.

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