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🧪 kosha2011_017_018

epiedit 검토 완료 최종데이터 (읽기 전용) · 측정정보 최종수정 2026-07-07

📄 이 사건의 질병 레코드

운동신경세포병 / 반도체공학 기술자 및 연구원 / IDS 1037

⚗️ 유해물질 측정 0건

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📅 노출기간 1건

시작시기 종료시기 총기간 빈도 원문 인용
1992년 2006년
근로자 ○○○은 1992년부터 2006년까지 △사업장에서 CVD(Chemical vapor deposition)공정에서 설비엔지니어로 근무하였다.

🏭 작업환경 4건

공정 환기설비 환기 불량한 공간 원문 인용
PM(Process management, 보전)업무라고 불리는 설비 셋업(set-up)작업, 설비 보전 및 수리 업무 불명
기본적인 작업내용은 PM(Process management, 보전)업무라고 불리는 설비 셋업(set-up)작업, 설비 보전 및 수리 업무였으며 가스-CVD장비-배기라인-진공펌프-배기라인-스크러버-공장배기장치(덕트연결)-공장스크러버-외기로 되어 있으며 이 모든 과정에서 설비엔지니어 업무를 담당하였다.
고온(300~400℃)의 공정 진행 챔버 온도를 상온까지 내린 후 open하여 IPA(Isopropyl alcohol) 및 DI(증류수) water 등으로 챔버표면에 고착된 powder 및 불순물 등을 제거하고 챔버 내부 또는 외부에 장착되는 부속 장비에 대해서도 분해 및 동일한 방법으로 세정/조립
고온(300~400℃)의 공정 진행 챔버 온도를 상온까지 내린 후 open하여 IPA(Isopropyl alcohol) 및 DI(증류수) water 등으로 챔버표면에 고착된 powder 및 불순물 등을 제거하고 챔버 내부 또는 외부에 장착되는 부속 장비에 대해서도 분해 및 동일한 방법으로 세정/조립하여 기존의 상태와 동일하게 장착 하였다.
스크러버, 스크러버와 펌프 사이에 존재하는 배기라인인 이그저스트 라인의 찌꺼기를 청소하는 업무도 수행. 700~800℃의 히터온도를 상온까지 내리고 스크러버 내부 세정
공정에 사용되고 남은 가스를 밖으로 배출하는 장치인 스크러버, 스크러버와 펌프 사이에 존재하는 배기라인인 이그저스트 라인의 찌꺼기를 청소하는 업무도 수행하였다. 작업방법은 700~800℃의 히터온도를 상온까지 내리고 스크러버 내부
작업 비율은 서비스 에어리어 지역에서 70%, 펌프 스테이지의 지하에서 30%로 이루어졌다.
작업 비율은 서비스 에어리어 지역에서 70%, 펌프 스테이지의 지하에서 30%로 이루어졌다.

🦺 보호구 0건

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